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热化学气相沉积按化学反应形式分为什么

来源:www.513hx.cn  时间:2023-08-06 13:42   点击:300  编辑:admin   手机版

一、热化学气相沉积按化学反应形式分为什么

CVD技术化气相沉积Chemical Vapor Deposition缩写

化气相沉积乃通化反应式利用加热、等离激励或光辐射等各种能源反应器内使气态或蒸汽状态化物质气相或气固界面经化反应形固态沉积物技术?简单说:两种或两种气态原材料导入反应室内,相互间发化反应形种新材料沉积基片表面?气相析固体形态主要列几种:固体表面薄膜、晶须晶粒气体粒

CVD技术原料气或蒸汽通气相反应沉积固态物质CVD技术用于机合材料制备具特点:?(1)沉积反应气固界面发则沉积物按照原固态基底(称衬底)形状包覆层薄膜?(2)涂层化随气相组改变改变获梯度沉积物或混合镀层?(3)采用某种基底材料沉积物达定厚度容易与基底离各种特定形状游离沉积物器具?(4)CVD技术沉积晶体或细粉状物质或者使沉积反应发气相基底表面机合物质细粉末甚至纳米尺度微粒称纳米超细粉末?(5)CVD工艺较低压力温度进行仅用增密炭基材料增强材料断裂强度抗震性能较低压力温度进行

?CVD技术根据反应类型或者压力低压CVD(LPCVD)、压CVD(APCVD)、亚压CVD(SACVD)、超高真空CVD(UHCVD)、等离体增强CVD(PECVD)、高密度等离体CVD(HDPCVD)、快热CVD(RTCVD)、金属机物CVD(MOCVD)

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二、PCVD与PECVD区别是什么?

PCVD 等离子体化学气相沉积

PECVD等离子增强化学气相淀积

后者多个E

三、什么是镀膜玻璃?

镀膜玻璃镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜,以改变玻璃的光学性能,满足某种特定要求。镀膜玻璃按产品的不同特性,可分为以下几类:热反射玻璃、低辐射玻璃(Low-E)、导电膜玻璃等。热反射玻璃一般是在玻璃表面镀一层或多层诸如铬、钛或不锈钢等金属或其化合物组成的薄膜,使产品呈丰富的色彩,对于可见光有适当的透射率,对红外线有较高的反射率,对紫外线有较高吸收率,因此,也称为阳光控制玻璃,主要用于建筑和玻璃幕墙;低辐射玻璃是在玻璃表面镀由多层银、铜或锡等金属或其化合物组成的薄膜系,产品对可见光有较高的透射率,对红外线有很高的反射率,具有良好的隔热性能,主要用于建筑和汽车、船舶等交通工具,由于膜层强度较差,一般都制成中空玻璃使用;导电膜玻璃是在玻璃表面涂敷氧化铟锡等导电薄膜,可用于玻璃的加热、除霜、除雾以及用作液晶显示屏等;镀膜玻璃的生产方法很多,主要有真空磁控溅射法、真空蒸发法、化学气相沉积法以及溶胶—凝胶法等。磁控溅射镀膜玻璃利用磁控溅射技术可以设计制造多层复杂膜系,可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色,膜层的耐腐蚀和耐磨性能较好,是目前生产和使用最多的产品之一。真空蒸发镀膜玻璃的品种和质量与磁控溅射镀膜玻璃相比均存在一定差距,已逐步被真空溅射法取代。化学气相沉积法是在浮法玻璃生产线上通入反应气体在灼热的玻璃表面分解,均匀地沉积在玻璃表面形成镀膜玻璃。该方法的特点是设备投入少、易调控,产品成本低、化学稳定性好,可进行热加工,是目前最有发展前途的生产方法之一。溶胶—凝胶法生产镀膜玻璃工艺简单,稳定性也好,不足之处是产品光透射比太高,装饰性较差。镀膜玻璃中应用最多的是热反射玻璃和低辐射玻璃。基本上采用真空磁控溅射法和化学气相沉积法两种生产方法。国际上比较著名的真空磁控溅射法设备生产厂家有美国的BOC公司和德国的莱宝公司,化学气相沉积法的著名生产厂家有英国的皮尔金顿公司等。八十年代后期以来,我国已经出现数百家镀膜玻璃生产厂家,在行业中影响较大的真空磁控溅射法生产厂家有中国南玻集团公司和上海阳光镀膜玻璃公司等,化学气相沉积法生产厂家有山东蓝星玻璃公司和长江浮法玻璃公司等。

四、镀膜玻璃的颜色有哪几类?

玻璃依透光性可分为全透明玻璃,半透明玻璃,深色玻磨砂玻璃、压花玻璃、夹丝玻璃。深色玻璃或有色玻璃的主要种类有灰绿玻璃及茶色玻璃。

灰绿玻璃略带绿色,在科学和技术的各个领域中得到了广泛的应用。这方面可以举出不少实例,如在摄影学、光度学、交通信号系统以及保护视力和精密仪器不受有害光线损伤方面。

茶色玻璃带有黄棕色,又称琥珀色玻璃。在玻璃原料中加入FeS、Na2S2、 NaFeS2等,再在还原性气氛中加热还原,即呈褐色。可作为装饰材料。

遮阳型LowE玻璃对室内视线有一定的遮阳性,可阻止太阳热辐射进入室内,限制夏季室外的二次热辐射进入室内,南方、北方都适用。因其具有丰富的装饰效果和室外视线遮阳作用,适用于各类建筑物。

双银LowE玻璃突出了玻璃对太阳热辐射的遮阳效果,将玻璃的高透光性与太阳热辐射的低透过性巧妙地结合在一起,有较高的可见光透过率,可有效地限制夏季室外的背景热辐射进入室内。

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由于膜层强度较差,一般都制成中空玻璃使用;导电膜玻璃是在玻璃表面涂敷氧化铟锡等导电薄膜,可用于玻璃的加热、除霜、除雾以及用作液晶显示屏等。

镀膜玻璃的生产方法很多,主要有真空磁控溅射法、真空蒸发法、化学气相沉积法以及溶胶—凝胶法等。

磁控溅射镀膜玻璃利用磁控溅射技术可以设计制造多层复杂膜系,可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色,膜层的耐腐蚀和耐磨性能较好,是生产和使用最多的产品之一。

真空蒸发镀膜玻璃的品种和质量与磁控溅射镀膜玻璃相比均存在一定差距,已逐步被真空溅射法取代。化学气相沉积法是在浮法玻璃生产线上通入反应气体在灼热的玻璃表面分解,均匀地沉积在玻璃表面形成镀膜玻璃。

该方法的特点是设备投入少、易调控,产品成本低、化学稳定性好,可进行热加工,是最有发展前途的生产方法之一。溶胶—凝胶法生产镀膜玻璃工艺简单,稳定性也好,不足之处是产品光透射比太高,装饰性较差。

参考资料来源:搜狗百科-镀膜玻璃

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